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电子超纯水

超纯水处理系统在百级无尘室设计案例

项目背景:该超纯水处理系统应用于百级无尘室内中,该项目对超纯水处理要求高,原水水质为企业自来水要求,出水要求要达到百级芯片清洗水。进水经过预处理工艺,要进入二级反渗透膜工艺,对水质进行除盐过滤。同时,要进行EDI深度除盐处理设计,在末端再经过TOC脱除器脱除有机物以及抛光混床进一步精处理,最终经过超滤膜过滤后,出水水质就可以满足用水点的水质要求。

  

项目工艺:



半导体超纯水案例  

水质要求:超纯水的水质指标要求:电导率≥18兆欧、TOC<3ppb、particle(≥0.1um)<3pcs/mL


现场照片:


半导体超纯水案例

  

项目实施:2020年5月进场,7月份完成建设并投入运行。


半导体超纯水案例

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