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电子半导体喷涂废气如何处理工艺的哪些?

电子半导体生产车间喷涂工艺会产生废气,也称电子喷涂废气。喷涂废气主要成份有甲苯、二甲苯等有机废气。喷涂废气挥发出来后形成VOCs,产生光化学反应形成雾霾,破坏臭氧层,对人体和大气造成危害。因此,电子喷涂废气处理是环评要求重点,也是电子半导体企业必须要达标排放的废气处理要求。
  
  喷涂废气治理方法
  

  为了有效地对喷涂废气t进行处理,采用各种物理、化学以及生物等处理方法对其进行处理。目前,根据处理后废气的不同的形式。可以将处理技术分为销毁法和回权法销毁法是指将有机废气彻底地转化为环境无害的物质,如CO2和H2O,最常见的方法是燃烧法和生物法:回收法是指通过改变环境条件或者采用一定的分离方法.将有机废气进行分离最终实现有机废气“变废为宝”,加工处理后,再次进入喷涂系统作为溶剂等重复利用。下面对常用的治理方法进行介绍。
  
  2.1燃烧法
  
  燃烧法是指在一定的催化剂或者其他条件下.使废气中的能够燃烧的物质通过一系列的化学变化,分解转化为环境无害或者可再次回收利用的物质。这种方法操作简单,通常用来处理高浓度废气.经过燃烧废气中大部分物质能被处理,效率高但是这种方法通常需要使用一定的催化剂.常出现催化剂中毒现象
  
  2.2生物法
  
  生物净化法,一般是利用微生物对有机废物进行降解,使其变为环境无害的物质.这种方法是从微生物处理污水中借鉴来的。只要条件适宜,普遍存在的微生物能够分解几乎全部地有机物及无机物,因此生物净化法在治理污染物中应用广泛,但是由于一般情况下,微生物新陈代谢较慢,并且所需要的环境条件苛刻.导致处理工序时间过长,成本较高。
  
  2.3吸附法
  
  吸附法包括化学吸附法和物理吸附法化学吸附法是指吸附剂通过与被吸附物质通过化学键的连接的发生缔和.从而将污染物中的一部人物质被吸附剂吸附:物理吸附法是指吸附剂与被吸附物质之间通过分子间作用力结合.双方性质都没有发生改变.及此过程中没有涉及化学反应。在对VOCs的治理中.吸附法是应用最广泛的治理技术.最常见的吸附剂就是活性炭。但是现在工厂里采用的活性炭吸附工艺中.没有设置回收再利用工艺.活性炭无法回收利用.因此工艺成本较高.不符合持续发展的理念
  
  本文综合传统的有机废气处理方法,全面分析几种经典处理方法的优缺点,并且针对某电子公司的厂房设备、生产条件以及工艺过程,再结合喷涂过程中产生废气的特点,即低浓度、大风量.科学合理地设计了一套综合治理工程:吸附处理一脱附再生一燃烧释放。
  
  3喷涂废气治理工程
  
  3.1治理工程概述

  

  由于在电子产品喷涂工艺结束之后,产生的有机废气中夹杂着细微颗粒物以及一部分漆雾,如果这些细微颗粒物质和漆雾与有机废气一起进入活性炭吸附室.会大大降低活性炭吸附有机废气的活性位点,降低吸附效率,因此废气进入吸附室之前.需要进入雾化洗涤塔.通过洗涤.除去细微颗粒和漆雾。因此,喷涂废气需经过图1中处理流程。

喷涂废气处理工艺

  
  3.2治理工程工艺介绍
  
  喷涂过程产生的废气通过图1所示的工艺流程图进行综合治理,具体地:喷涂后的废物先经过雾化洗涤塔.雾化洗涤塔是由多层带孔纤维层组成.并且从第一层开始以后每层单位面积内孔数变多。当废气通过洗涤塔时.废气中的细微颗粒、漆雾及一小部分有机物不断与微孔发生碰撞,粘合,细微颗粒不断细化并且一级一级不断被粘附,最终被全部粘合。
  

  喷涂废气处理工艺和方法选择上,要结合电子半导体企业实际生产需要,制定切实可行的喷涂废气处理方案。电子半导体行业产生废气处理方法也在不断更新,未来喷涂废气处理真正实现零排放也将推进进程。


电子喷涂废气治理

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